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樣品支架用于放置待測(cè)樣品，探頭架設(shè)于位移臺(tái)，位移臺(tái)由2組位移機(jī)構(gòu)構(gòu)成，電機(jī)控制器分別控制2組位移臺(tái)移動(dòng)至設(shè)定位置，實(shí)現(xiàn)樣品掃描，其中X、Y軸位移臺(tái)用于樣品掃描，Z軸位移臺(tái)用于探頭調(diào)焦，以實(shí)現(xiàn)不同厚度樣品測(cè)量，位移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)太赫茲系統(tǒng)對(duì)樣品透（反）射成譜、成像。
長(zhǎng)行程三維掃描位移臺(tái)TA-SL1，三維層析成像費(fèi)飛行時(shí)間3D掃描位移臺(tái)透射反射無(wú)損檢測(cè)長(zhǎng)行程高精度